真空镀膜设备有哪些基本技术要求呢?尊龙凯时·(中国)人生就是搏镀膜来告诉您。
1、设备中的真空管道、静态密封零部件(法兰、密封𝄹圈等)的结构形式,应符合GB♛/T6070的规定。
2、在低真空和高真空管道上及真空镀膜室上应安装真空测量规管,💛分别测量各部位🐲的真空度。当发现电场对测量造成干扰时,应在测量口处安装电场屏蔽装置。
3、如果设备使用的主泵为扩散泵时,应在泵的进气口一侧装设有油蒸捕集阱
4、设备的镀膜室应设有观察窗,应设有挡板装置。观察窗应能观察到沉积源的工作情况以及其他关键部位꧋。
5、离子镀沉积源的设计应尽可能提高镀膜过程中的离🐼化率,提高镀膜材料的利用率,合理匹🐻配沉积源的功率,合理布置沉积源在真空室体的位置。
6、合理布置加热装置,一般加热器结构布局应使被镀工件温升均匀一致。
7、工件架应与真空室体绝缘,工件架的设计应使工件膜层均匀。
8、离子镀膜设备一般应具有工件负偏压和离子轰击电源,离子轰🍬击电源应具有抑制非正常放电装置,维持工作🌃稳定。
9、真空室接不同电位的各部分间的绝缘电阻值的大小,均按GB/T11164-19ꦗ99中的4.4.6
10、其他注意事项
1)环境温度:10-30oC
2)相对湿度:不大于75%
3)冷却水进水温度:不高于25oC
4)冷却水质:城市自来水或相当质量的水。
5😼)供电电源:380V三相50Hz或220V单相50Hz(由所用电器需要而定);电压波动范围:342-399V或198-231V;频率波动范围:49-51Hz🎃。
6)设备所需的压缩空气,液氮,冷水、热水等的压力、温度,消耗量等,💞均应在产品使🅷用说明书中写明。
7)设备周围环境整洁,空气清洁,不应有引起电器及其ꦯ他金属件表面腐蚀或引起金属间导电的尘埃或气体存在。
尊龙凯时·(中国)人生就是搏纳米科技(深圳)有限公司是一家专业从事以真空镀膜加工、离子镀膜加工服务为主的港资企业。